型号
Hyper MF
Hyper MF-U
货号
176-401
176-402
观察类型
BF
BF或BF/BD
数显计数器
-
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测量装置
线性编码器
XY工作台行程范围
250×150mm
测量精度
±(0.9+3L/1000)um,L为XY轴无负载测量长度(mm)
分辨率
0.01 um
驱动系统(X,Y,Z轴)
带操纵杆的电动控制
XY工作台面尺寸
460×350mm
载物玻璃有效尺寸
300×200mm
旋转功能
±3°
最大工件重量
30Kg
最大工件高度
150mm